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真空保持设备及具有真空保持设备的晶片切割机
| 专利名称： | 真空保持设备及具有真空保持设备的晶片切割机 |
| 摘要： | 一种真空保持设备及一种具有真空保持设备的晶 片切割机，真空保持设备包含有一进气端口、一输出 端口、一真空产生器、一第一、第二电磁阀，一切换 开关。进气端口接受气体来源，输出端口提供真空输 出或气体输出，真空产生器具有气体入口、出口与真 空出口。第一电磁阀的一端连接至进气端口，另一端 连接至真空产生器的气体入口。第二电磁阀的一端以 并联方式连接至进气端口与真空产生器的真空出口， 另一端连接至输出端口。切换开关的一端连接至进气 端口，另一端连接至真空产生器，正常操作时，切换 开关为关闭，当突发的无电力状况发生时，切换开关 为开启，使气体来源由此通路传输至真空产生器，以 产生持续真空供晶片吸附。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 台湾;TW |
| 申请人： | 京元电子股份有限公司 |
| 发明人： | 吕学贤;陈英杰 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-10-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710184817.9 |
| 公开号： | CN101425473 |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 代理人： | 汤保平 |
| 分类号： | H01L21/683(2006.01)I |
| 申请人地址： | 台湾省新竹市 |
| 主权项： | 1、一种真空保持设备，包含有： 一进气端口，用以接受一气体来源； 一输出端口，用以提供一真空输出或气体输出； 一真空产生器，具有气体入口、气体出口与真空 出口； 一第一电磁阀，一端连接至该进气端口，另一端 连接至该真空产生器的气体入口，当电力作动时，气 体可流经该第一电磁阀而进入该真空产生器的气体入 口，以产生真空；以及 一第二电磁阀，一端以并联方式连接至该进气端 口与该真空产生器的真空出口，一端连接至该输出端 口，可操作地使该输出端口为气体输出或真空输出； 以及 其特征在于， 一切换开关，一端连接至该进气端口，另一端连 接至该真空产生器入口，当电力作动时，该切换开关 为关闭，当无电力状况发生时，该切换开关为开启， 气体来源可由此传输至该真空产生器的气体入口，以 产生持续的真空。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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