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频闪动态干涉法测量离面位移的研究
| 题名： | 频闪动态干涉法测量离面位移的研究 |
| 正文语种： | 中文 |
| 作者： | 李松 |
| 关键词： | 微机电；等厚干涉；基片曲率法 |
| 摘要： | 频闪视觉测量和频闪干涉测量代表了目前先进的微机电系统动态测试技术，尤其在非接触无损测量技术有重要意义，通过微机电三维静动态测试系统，综合运用等厚干涉原理和基片曲率法，实时测量，计算出镀膜样品在升温和退火过程中应力的变化，结果表明，该方法适合测量微机电器件的离面位移。 |
| 期刊名称： | 武汉理工大学学报（交通科学与工程版） |
| 出版年： | 2011 |
| 期： | 03 |
| 页码： | 630-633 |
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