专利名称: | 基板用盒的载放台 |
摘要: | 一种基板用盒的载放台,用于降低基板用盒的振动。在底面具备多个梁、载放基板用盒的载放台主体上,安装多个具备粘弹性体的梁的支承台,通过支承台支持盒的底面。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 村田自动化机械有限公司 |
发明人: | 寺谷茂 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2011-06-20T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201110165504.5 |
公开号: | CN102372144A |
代理机构: | 永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人: | 夏斌;陈萍 |
分类号: | B65G1/04(2006.01)I |
申请人地址: | 日本京都 |
主权项: | 一种基板用盒的载放台,用于载放基板用盒,在底面具备多个梁,其特征在于,在载放台主体上安装有多个具备粘弹性体的、上述梁的支承台,通过上述支承台支持上述盒的底面。 |
所属类别: | 发明专利 |