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原文传递 基板用盒的载放台
专利名称: 基板用盒的载放台
摘要: 一种基板用盒的载放台,用于降低基板用盒的振动。在底面具备多个梁、载放基板用盒的载放台主体上,安装多个具备粘弹性体的梁的支承台,通过支承台支持盒的底面。
专利类型: 发明专利
申请人: 村田自动化机械有限公司
发明人: 寺谷茂
专利状态: 有效
申请日期: 2011-06-20T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201110165504.5
公开号: CN102372144A
代理机构: 永新专利商标代理有限公司 72002
代理人: 夏斌;陈萍
分类号: B65G1/04(2006.01)I
申请人地址: 日本京都
主权项: 一种基板用盒的载放台,用于载放基板用盒,在底面具备多个梁,其特征在于,在载放台主体上安装有多个具备粘弹性体的、上述梁的支承台,通过上述支承台支持上述盒的底面。
所属类别: 发明专利
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