专利名称: |
一种水平式扩散系统的传送带装置 |
摘要: |
本实用新型涉及一种水平式扩散系统的传送带装置,该传送带装置包括支柱、传送带、套管,所述的传送带设在支柱上方,所述的套管设在传送带上。与现有技术相比,本实用新型具有运输硅片衬底时更为平稳,破片率更低,还可避免扩散过程中硅片衬底与金属的接触,改善工艺环境,提高太阳电池转换效率等优点。 |
专利类型: |
实用新型专利 |
国家地区组织代码: |
上海;31 |
申请人: |
上海神舟新能源发展有限公司 |
发明人: |
郭唯博;邱明良;马院红;冯春暖;周利荣 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2011-05-23T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201120167007.4 |
公开号: |
CN202175431U |
代理机构: |
上海科盛知识产权代理有限公司 31225 |
代理人: |
赵继明 |
分类号: |
B65G49/07(2006.01)I |
申请人地址: |
201112 上海市闵行区三鲁公路719弄58号315室K座 |
主权项: |
一种水平式扩散系统的传送带装置,其特征在于,该传送带装置包括支柱、传送带、套管,所述的传送带设在支柱上方,所述的套管设在传送带上。 |
所属类别: |
实用新型 |