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原文传递 一种水平式扩散系统的传送带装置
专利名称: 一种水平式扩散系统的传送带装置
摘要: 本实用新型涉及一种水平式扩散系统的传送带装置,该传送带装置包括支柱、传送带、套管,所述的传送带设在支柱上方,所述的套管设在传送带上。与现有技术相比,本实用新型具有运输硅片衬底时更为平稳,破片率更低,还可避免扩散过程中硅片衬底与金属的接触,改善工艺环境,提高太阳电池转换效率等优点。
专利类型: 实用新型专利
国家地区组织代码: 上海;31
申请人: 上海神舟新能源发展有限公司
发明人: 郭唯博;邱明良;马院红;冯春暖;周利荣
专利状态: 有效
申请日期: 2011-05-23T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201120167007.4
公开号: CN202175431U
代理机构: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225
代理人: 赵继明
分类号: B65G49/07(2006.01)I
申请人地址: 201112 上海市闵行区三鲁公路719弄58号315室K座
主权项: 一种水平式扩散系统的传送带装置,其特征在于,该传送带装置包括支柱、传送带、套管,所述的传送带设在支柱上方,所述的套管设在传送带上。
所属类别: 实用新型
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