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一种同时检测薄膜粘附特性及杨氏模量的无损表征方法
| 专利名称： | 一种同时检测薄膜粘附特性及杨氏模量的无损表征方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种同时检测薄膜粘附特性及杨氏模量的无损表征方法，包括：通过激光激发待测样片的超声表面波试验，获得待测样片的实验频散曲线，得到不考虑粘附特性影响时的杨氏模量值，并将作为已知参量测量出样片的粘附特性。确定出杨氏模量及粘附特性的搜索范围及搜索步长。计算获得在搜索范围内的，以确定的搜索步长而确定出的一系列的由杨氏模量和粘附特性确定出的理论频散曲线，计算每一条理论频散曲线和实验频散曲线的R2值，对于R2值进行排序，R2值最大的一条曲线既可被认为是匹配度最高的曲线，该曲线对应的杨氏模量值和粘附特性值即为待测薄膜的杨氏模量值及粘附特性值。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 天津;12 |
| 申请人： | 天津大学 |
| 发明人： | 肖夏;戚海洋 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201711191836.4 |
| 公开号： | CN108061753A |
| 代理机构： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 |
| 代理人： | 程毓英 |
| 分类号： | G01N29/04(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N29;G01N29/04 |
| 申请人地址： | 300072 天津市南开区卫津路92号 |
| 主权项： | 一种同时检测薄膜粘附特性及杨氏模量的无损表征方法，包括下列步骤：(1)通过激光激发待测样片的超声表面波试验，获得待测样片的实验频散曲线，得到不考虑粘附特性影响时的杨氏模量值E’，并将E’作为已知参量测量出样片的粘附特性A’；(2)确定出杨氏模量及粘附特性的搜索范围及搜索步长，方法如下：以对E’的20％偏差作为杨氏模量的搜索范围，将杨氏模量的搜索步长设为0.1GPa，粘附特性的搜索步长设为1PPa/m；(3)计算获得在搜索范围内的，以确定的搜索步长而确定出的一系列的由杨氏模量和粘附特性确定出的理论频散曲线，计算每一条理论频散曲线和实验频散曲线的R2值，对于R2值进行排序，R2值最大的一条曲线既可被认为是匹配度最高的曲线，该曲线对应的杨氏模量值和粘附特性值即为待测薄膜的杨氏模量值及粘附特性值，若R2值最大对应的情况为杨氏模量或者粘附特性的边界值则扩大相应变量的搜索范围，完成匹配过程。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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