专利名称: |
吸附式治具的弹性体 |
摘要: |
一种吸附式治具的弹性体,适用于承载硅晶,包含本体部,及多个吸附单元。所述本体部包括呈矩阵排列的多个气孔。所述吸附单元形成在所述本体部且彼此相间隔,每一吸附单元包括环绕所述气孔的环壁。所述环壁具有外环面、反向于所述外环面且界定出吸口的第一内环面、反向于所述外环面且界定出气室的第二内环面,及连接所述外环面与所述第一内环面且适用于接触所述硅晶的接触面。所述第二内环面与所述外环面的径宽大于所述第一内环面与所述外环面的径宽。借此,利用阶层式的吸口与气室,在不影响吸附口径的情形下,提升所述环壁邻近所述接触面的部位的强度,在切割硅晶时,不会扭曲或变形,不但能够稳定地支撑所述硅晶,且能提升所述硅晶的切割质量。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
中国台湾;71 |
申请人: |
宸榤精机股份有限公司;赖奕诚;赖奕儒 |
发明人: |
赖奕诚;赖奕儒 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201820384726.3 |
公开号: |
CN208068616U |
代理机构: |
北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 |
代理人: |
张雅军;史瞳 |
分类号: |
B28D7/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D7;B28D7/04 |
申请人地址: |
中国台湾苗栗县 |
主权项: |
1.一种吸附式治具的弹性体,适用于承载硅晶,所述弹性体包含本体部,及多个吸附单元,所述本体部包括呈矩阵排列且彼此相间隔的多个气孔,所述吸附单元形成在所述本体部且彼此相间隔,其特征在于:每一吸附单元包括环绕所述气孔的环壁,所述环壁具有外环面、反向于所述外环面且界定出吸口的第一内环面、反向于所述外环面且界定出气室的第二内环面,及连接所述外环面一端缘与所述第一内环面一端缘且适用于接触所述硅晶的接触面,所述吸口与所述气室连通于相对位置的气孔,所述第一内环面与所述外环面的径宽小于所述第二内环面与所述外环面的径宽。 |
所属类别: |
实用新型 |