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1.一种ppb级NO2气体片式传感器的制备方法,其特征在于,该方法包括以下具体步骤:步骤1:硬模板SBA‑15的制备ⅰ)EO20PO70EO20即P123和2mol/L 的HCl、H2O按照质量比2:60:15混合,搅拌30‑60min至P123完全溶解;ⅱ)将ⅰ)中的溶液放入水浴锅中,当温度到达40℃时,按照溶液与正硅酸乙酯(TEOS)质量比20:1滴加正硅酸乙酯,40℃搅拌24‑48h;ⅲ)将ⅱ)中溶液转入反应釜,100℃反应12‑24h,过滤、洗涤,80℃干燥12‑24h;ⅳ)将干燥好的粉末置于马弗炉中,550℃烧6‑10h得到SBA‑15;步骤2:介孔氧化钨的合成ⅰ)硅钨酸与乙醇按质量比为7:20混合,搅拌至硅钨酸溶解;ⅱ)将SBA‑15加至ⅰ)中得到的硅钨酸溶液中,超声10‑30min,将SBA‑15孔道内的气泡排出;所述SBA‑15与硅钨酸质量比为1:5;ⅲ)将ⅱ)中得到的溶液室温下搅拌12‑24h,80℃下干燥12‑24h,然后550℃烧4h,得到固体混合物;ⅳ)HF与H2O按照体积比1:11混合得到3mol/L的HF溶液;将ⅲ)中得到的固体与 3mol/L的HF溶液按照质量比1:30混合,搅拌12‑24h,过滤洗涤自然晾干,得到介孔WO3;步骤3:制备NO2气体片式传感器ⅰ)将介孔WO3与乙基纤维素和松油醇混合,用行星振动球磨机100r/min球磨2‑5h,得到介孔WO3浆料;所述介孔WO3、乙基纤维素与松油醇的质量比10:1:20;ⅱ)将8YSZ流延片切成1×1cm的薄片,正反两面用丝网印刷印上Pt电极,并从两个电极处分别引出Pt丝,马弗炉中1400℃烧2‑4h;所述8YSZ为8%Y2O3掺杂ZrO2;ⅲ)将ⅱ)所得薄片的一面在铂浆上通过丝网印刷上介孔WO3浆料,并在马弗炉中600℃下烧2‑4h得到所述ppb级NO2气体片式传感器。 |