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原文传递 渗硅工装
专利名称: 渗硅工装
摘要: 本发明公开了一种渗硅工装,用于装载碳制工件并进行液相渗硅生产,所述渗硅工装包括容器主体、支撑件和容器盖体,所述容器主体上设有凹腔;所述支撑件放置于所述凹腔内以用于支撑所述碳制工件,且所述支撑件上设有用于容置硅粉的容置结构;所述容器盖体盖合于所述容器主体上以用于密封所述凹腔。本发明实施例通过在容器主体上开设凹腔,且在凹腔内放置具有用于容置硅粉的容置结构的支撑件,使得将碳制工件放于支撑件上,再盖上容器盖体,即可进行渗硅工艺,支撑件与碳制工件紧抵,实现良好的渗硅效果,支撑件的支撑功能与容置功能合二为一,且反应后无残余硅渣粘结,方便清理,同时能渗硅均匀减少偏重。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 广东;44
申请人: 深圳勒迈科技有限公司
发明人: 刘军;孙伟华
专利状态: 有效
申请号: CN201810879575.3
公开号: CN109176832A
代理机构: 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288
代理人: 齐则琳;张雷
分类号: B28B1/54(2006.01)I;B;B28;B28B;B28B1
申请人地址: 518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)
主权项: 1.一种渗硅工装,用于装载碳制工件并进行液相渗硅生产,其特征在于,所述渗硅工装包括:容器主体,所述容器主体上设有凹腔;支撑件,所述支撑件放置于所述凹腔内以用于支撑所述碳制工件,且所述支撑件上设有用于容置硅粉的容置结构;容器盖体,所述容器盖体盖合于所述容器主体上以用于密封所述凹腔。
所属类别: 发明专利
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