专利名称: |
渗硅工装 |
摘要: |
本发明公开了一种渗硅工装,用于装载碳制工件并进行液相渗硅生产,所述渗硅工装包括容器主体、支撑件和容器盖体,所述容器主体上设有凹腔;所述支撑件放置于所述凹腔内以用于支撑所述碳制工件,且所述支撑件上设有用于容置硅粉的容置结构;所述容器盖体盖合于所述容器主体上以用于密封所述凹腔。本发明实施例通过在容器主体上开设凹腔,且在凹腔内放置具有用于容置硅粉的容置结构的支撑件,使得将碳制工件放于支撑件上,再盖上容器盖体,即可进行渗硅工艺,支撑件与碳制工件紧抵,实现良好的渗硅效果,支撑件的支撑功能与容置功能合二为一,且反应后无残余硅渣粘结,方便清理,同时能渗硅均匀减少偏重。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
广东;44 |
申请人: |
深圳勒迈科技有限公司 |
发明人: |
刘军;孙伟华 |
专利状态: |
有效 |
申请号: |
CN201810879575.3 |
公开号: |
CN109176832A |
代理机构: |
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 |
代理人: |
齐则琳;张雷 |
分类号: |
B28B1/54(2006.01)I;B;B28;B28B;B28B1 |
申请人地址: |
518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司) |
主权项: |
1.一种渗硅工装,用于装载碳制工件并进行液相渗硅生产,其特征在于,所述渗硅工装包括:容器主体,所述容器主体上设有凹腔;支撑件,所述支撑件放置于所述凹腔内以用于支撑所述碳制工件,且所述支撑件上设有用于容置硅粉的容置结构;容器盖体,所述容器盖体盖合于所述容器主体上以用于密封所述凹腔。 |
所属类别: |
发明专利 |