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聚焦离子束—氦离子显微镜对页岩纳米孔隙三维成像方法
| 专利名称： | 聚焦离子束—氦离子显微镜对页岩纳米孔隙三维成像方法 |
| 摘要： | 本发明主要属于石油天然气勘探开发领域，具体涉及一种聚焦离子束—氦离子显微镜对页岩纳米孔隙三维成像方法，该方法采用氦离子显微镜的超高分辨率成像功能，配合聚焦离子束的切割功能，完成页岩有机质纳米孔隙的超高分辨率三维成像，具有分辨率超高，切片薄，切片均匀且稳定的特点。此方法弥补了传统扫描电子显微镜结合聚焦离子束技术无法对纳米级孔隙进行三维成像的缺陷。此方法能直观体现页岩有机质中3nm以上孔隙的三维空间结构、形态、分布、连通性、孔隙度等特征，对科学解释页岩气的赋存和运移机理具有重要意义。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 发明人： | 吴建国;杨继进;牛素鋆 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201810930898.0 |
| 公开号： | CN109298005A |
| 代理机构： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 |
| 代理人： | 巴晓艳 |
| 分类号： | G01N23/2255(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23 |
| 申请人地址： | 100029 北京市朝阳区北土城西路19号 |
| 主权项： | 1.聚焦离子束‑氦离子显微镜对页岩纳米孔隙三维成像方法，其特征在于，该方法的具体步骤包括：制作用于聚焦离子束‑氦离子显微镜分析的页岩样品；激发氦离子束，获取氦离子二维图像；采用氦离子束，结合聚焦离子束和沉积气体注入系统在所获取的氦离子二维图像区域沉积“追踪层”；采用聚焦离子束剖挖沟槽并细抛；采用氦离子束结合聚焦离子束重复进行二维成像和切片；将得到的各个切片的二维图像组合得到页岩纳米孔隙三维图像。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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