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原文传递表面检查系统、装置和方法

专利名称：	表面检查系统、装置和方法
摘要：	本申请公开表面检查系统、装置和方法。一种用于表面检查的装置包括太赫兹发射器、检测器和计算设备。太赫兹发射器被定向为朝向表面发射能量，该表面具有设置在该表面上的靠近表面特征的表面层。检测器被定位以接收由表面反射的来自太赫兹发射器的能量。计算设备与检测器进行信号通信，并且被配置为使用来自检测器的信号来检测表面特征。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	波音公司
发明人：	G·E·乔治森;K·L·麦基弗;P·S·卢瑟福
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201910056143.7
公开号：	CN110296954A
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	赵志刚;魏利娜
分类号：	G01N21/3581(2014.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	美国伊利诺伊州
主权项：	1.一种用于表面检查的装置(100)，所述装置包括：太赫兹发射器(108)，其被定向为朝向表面(102)发射能量，所述表面(102)具有设置在所述表面(102)上的靠近表面特征(104)的表面层(106)，所述表面特征(104)耦合到所述表面(102)；检测器(110)，其被定位以接收由所述表面(102)反射的来自所述太赫兹发射器(108)的太赫兹能量；以及计算设备(112)，其与所述检测器(110)进行信号接收通信(112)，其中所述计算设备(112)被配置为使用来所述自检测器(110)的信号来检测所述表面特征(104)。 2.根据权利要求1所述的装置(100)，其中，所述计算设备(112)被配置为使用来自所述检测器(110)的所述信号来识别所述表面特征(104)的位置。 3.根据权利要求1-2中的任一项所述的装置(100)，其中，所述计算设备(112)被配置为使用来自所述检测器(110)的所述信号来识别所述表面(102)靠近所述表面特征(104)的退化(302，304)。 4.根据权利要求1-3中的任一项所述的装置(100)，其中，来自所述检测器(110)的所述信号识别以下中的至少一个：由所述检测器(110)接收太赫兹能量的位置；从所述太赫兹发射器(108)到所述检测器(110)的所述太赫兹能量的飞行时间；所述太赫兹能量的频率的变化；所述太赫兹能量的衰减；以及所述太赫兹能量的方向变化。 5.根据权利要求1-4中的任一项所述的装置(100)，其中，所述计算设备(112)被配置为确定所述表面(102)靠近所述表面特征(104)的状态。 6.一种用于表面检查的系统(200，300)，所述系统包括：机械臂(202)；末端执行器(204)，其耦合到所述机械臂(202)的处理端；用于表面检查的装置(100)，其耦合到所述末端执行器(204)，其中所述装置(100)包括：太赫兹发射器(108)，其被定向为朝向表面(102)发射太赫兹能量，所述表面(102)具有设置在所述表面(102)上的靠近表面特征(104)的表面层(106)；以及检测器(110)，其被定位以接收由所述表面(102)反射的来自所述太赫兹发射器(108)的所述太赫兹能量；以及计算设备(112)，其与所述检测器(110)进行信号通信，其中所述计算设备(112)被配置为使用来自所述检测器(110)的信号来检测所述表面特征(104)。 7.根据权利要求6所述的系统(200，300)，其中，所述计算设备(112)被配置为将所述用于表面检查的装置(100)与所述表面特征(104)对准。 8.根据权利要求6-7中的任一项所述的系统(200，300)，其中，所述机械臂(202)附接到可独立定位的移动设备。 9.一种用于表面检查的方法(500)，所述方法包括：相对于表面(102)，定位(502)用于表面检查的装置(100)，所述表面(102)具有设置在所述表面(102)上的表面层(106)；发射(504)太赫兹能量以通过所述表面层(106)撞击在所述表面(102)上；检测(506)从所述表面(102)反射的太赫兹能量；以及基于对反射的太赫兹能量的分析，通过所述表面层(106)检测(508)所述表面(102)的表面特征(104)。 10.根据权利要求9所述的方法(500)，还包括：重新定位所述用于表面检查的装置(100)以与所述表面特征(104)对准；以及检测所述表面(102)靠近所述表面特征(104)的状态。
所属类别：	发明专利