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原文传递智能化的晶片搬运系统和方法

专利名称：	智能化的晶片搬运系统和方法
摘要：	一种用于搬运刚性但可挠曲盘片(特别是半导体晶片)的系统，该系统能对一晶片的两面进行加工。可利用光束来探测一晶片的边缘、确认一晶片位置和确定晶片的尺寸。一晶片手组件可在一晶片下方或在平行叠置但相互间隔的各晶片之间滑动时，一个或多个转动指转动90°而到达垂直于刚性手组件所在平面的位置。该手组件还包括一个或多个垂直于手组件所在表面的杆件。各指形件和杆件构成了可将晶片抓持于其间的一个三角形的三个角。一通过一臂件作用的直移电磁铁可控制指形件或杆件的横向移动，以便以可控的拉力将晶片抓持在所述固定杆和移动指之间。此拉力
专利类型：	发明专利
申请人：	奥维尔·雷·霍布洛克斯
发明人：	奥维尔·雷·霍布洛克斯
专利状态：	有效
申请日期：	1999-07-09T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN99808319.4
公开号：	CN1308585
代理机构：	上海专利商标事务所
代理人：	顾峻峰
分类号：	B65G49/07
申请人地址：	美国内华达州
所属类别：	发明专利