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原文传递负载锁定装置及处理方法

专利名称：	负载锁定装置及处理方法
摘要：	本发明提供一种可适宜地调节基板温度的负载锁定装置及处理方法。该负载锁定装置包括：设置在相对外部搬入搬出基板的搬入搬出部一侧的搬入口和设置在处理基板的处理部一侧的搬出口，其中，具有加热基板(G)的加热用板(71)，所述加热用板(71)包括由多孔质材料构成的板主体(75)和向板主体内供给已加热的加热用气体的加热用气体供给路(76)。加热用气体通过板主体(75)，并从板主体 (75)的表面喷出，向基板(G)供给。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	岩渕胜彦
专利状态：	有效
申请日期：	2006-04-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610072118.0
公开号：	CN1854839
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	龙淳
分类号：	G02F1/1333(2006.01)I
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利