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原文传递基板检查装置

专利名称：	基板检查装置
摘要：	本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：用于搬运作为被检体的薄板状的基板(4)的浮起台(1A、2A、3A)；以及吸附搬运部(5、6、7)，它们配置在这些浮起台的与搬运方向正交的方向中的任意侧，保持基板(4)的端部并对基板(4)施加搬运力，该基板检查装置通过在这些吸附搬运部之间依次交接基板(4)，来进行基板(4)的搬运。根据本发明的基板检查装置，即使搬运路径长，也不会使基板变形，而且能够以良好的精度搬运基板。
专利类型：	发明专利
申请人：	奥林巴斯株式会社
发明人：	藤森洋志
专利状态：	有效
申请日期：	2007-09-07T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710149251.6
公开号：	CN101144920
代理机构：	北京三友知识产权代理有限公司
代理人：	党晓林
分类号：	G02F1/13(2006.01)I
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利