专利名称: | 板状体搬运装置 |
摘要: | 提供一种板状体搬运装置,其可以抑制向板状体下表面供给的清洁 空气的波动、减轻对板状体的负荷、抑制板状体的破损。本发明的板状 体搬运装置具有送风式支承装置以及推进力施加装置,所述送风式支承 装置向板状体搬运物的下表面供给清洁空气,并以非接触状态支承所述 搬运物,所述推进力施加装置向由该送风式支承装置所支承的所述搬运 物施加搬运方向上的推进力,其中,设置有接触式支承装置,该接触式 支承装置将从由所述送风式支承装置所支承的规定高度下降的搬运物支 承在比所述送风式支承装置的上表面更上方的位置。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 株式会社大福 |
发明人: | 森屋进;村山繁人;森本雄一;池畑淑照;大野隆佳 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2004-07-08T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200810211027.X |
公开号: | CN101342992 |
代理机构: | 中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人: | 杨松龄 |
分类号: | B65G49/06(2006.01)I |
申请人地址: | 日本大阪府大阪市 |
所属类别: | 发明专利 |