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原文传递一种气体传感器标定装置

专利名称：	一种气体传感器标定装置
摘要：	本发明公开了一种气体传感器标定装置，包括主控板、至少二个质量流量控制器、气体混合腔、标定气室、气体检测传感器、流量计、压力计和气泵，所述质量流量控制器、气体混合腔、标定气室、气体检测传感器、流量计和气泵通过气路管道依次连通，所述标定气室内设置有待标定的气体传感器，所述压力计设置在标定气室上，所述主控板分别与质量流量控制器、待标定的气体传感器、气体检测传感器、流量计、压力计和气泵通讯连接，使得气体传感器标定在流量、气压、标定气体浓度均稳定的状态下进行，自动化程度高，标定质量稳定。
专利类型：	发明专利
申请人：	上海虬祺传感器科技有限公司
发明人：	葛竞天
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T14:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T22:00:00+0805
申请号：	CN202010034478.1
公开号：	CN111189979A
代理机构：	上海助之鑫知识产权代理有限公司
代理人：	李凯利
分类号：	G01N33/00;G;G01;G01N;G01N33;G01N33/00
申请人地址：	201500 上海市金山区卫昌路293号2幢4314室
主权项：	1.一种气体传感器标定装置，其特征在于，包括主控板、至少二个质量流量控制器、气体混合腔、标定气室、气体检测传感器、流量计、压力计和气泵，所述质量流量控制器、气体混合腔、标定气室、气体检测传感器、流量计和气泵通过气路管道依次连通，所述标定气室内设置有待标定的气体传感器，所述压力计设置在所述标定气室上，所述主控板分别与质量流量控制器、待标定的气体传感器、气体检测传感器、流量计、压力计和气泵通讯连接。 2.根据权利要求1所述的气体传感器标定装置，其特征在于：所述流量计为数字式流量节，所述压力计为数字式压力计。 3.根据权利要求1所述的气体传感器标定装置，其特征在于：所述主控板分别与质量流量控制器、标定气室、气体检测传感器、流量计、压力计和气泵通过电缆线连接。 4.根据权利要求1所述的气体传感器标定装置，其特征在于：所述气体检测传感器为管道式气体检测传感器。 5.根据权利要求1所述的气体传感器标定装置，其特征在于：所述气泵为隔膜气泵。
所属类别：	发明专利