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一种板式PECVD的自动上料设备
| 专利名称： | 一种板式PECVD的自动上料设备 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种板式PECVD的自动上料设备，包括满料盒装载与空料盒排出机构、料盒升降机构、平移升降机构、硅片缓冲料盒、红光区、放片区，四工位抓手、四工位机器人、载板升降机构，所述满料盒装载与空料盒排出机构由满料盒装载段和空料盒排出段组成，满料盒装载与空料盒排出机构通过料盒升降机构与平移升降机构连接，平移升降机构前端预设硅片缓冲料盒，平移升降机构和红光区设置在放片区两侧，四工位抓手设置在红光区上方，四工位机器人设置在放片区上方。本实用新型可以将放置于料盒中的待镀膜硅片快速、准确的转移至载板上，提升上料速率，降低操作员的劳动强度和操作难度，实现板式PECVD上料的自动化、高效率。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 福建;35 |
| 申请人： | 福建钜能电力有限公司 |
| 发明人： | 陈剑雨;王树林;倪鹏玉;陈清彬;姚晓宇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-08-07T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-08-23T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201821262801.5 |
| 公开号： | CN209291373U |
| 分类号： | B65G43/08(2006.01);B;B65;B65G;B65G43 |
| 申请人地址： | 351111 福建省莆田市涵江区国欢东路655号 |
| 主权项： | 1.一种板式PECVD的自动上料设备，其特征在于：包括满料盒装载与空料盒排出机构(1)、料盒升降机构(2)、平移升降机构(3)、硅片缓冲料盒(4)、红光区(5)、放片区(6)，四工位抓手(7)、四工位机器人(8)、载板升降机构(9)，所述满料盒装载与空料盒排出机构(1)由两组设置在设备两侧的满料盒装载段(11)和空料盒排出段(12)组成，所述空料盒排出段(12)设置在满料盒装载段(11)上方，所述满料盒装载与空料盒排出机构(1)通过料盒升降机构(2)与平移升降机构(3)连接，所述平移升降机构(3)前端预设硅片缓冲料盒(4)，所述放片区(6)设置在载板升降机构(9)上，所述平移升降机构(3)和红光区(5)设置在放片区(6)两侧，所述四工位抓手(7)设置在红光区(5)上方，所述四工位机器人(8)设置在放片区(6)上方。 2.根据权利要求1所述一种板式PECVD的自动上料设备，其特征在于：所述满料盒装载段(11)和料盒升降机构(2)均设置有感应器。 3.根据权利要求1所述一种板式PECVD的自动上料设备，其特征在于：所述放片区(6)分为四个载板工位，所述载板工位矩阵排列。 4.根据权利要求1所述一种板式PECVD的自动上料设备，其特征在于：所述四工位抓手(7)和四工位机器人(8)分别对应每个载板工位设置。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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