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一种板式PECVD的自动下料设备
| 专利名称： | 一种板式PECVD的自动下料设备 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种板式PECVD的自动下料设备，包括空料盒传入与满料盒排出机构、料盒升降机构、缓冲料盒、出片翻转机构、平移升降机构、龙门式取片机构、取片托板和载板升降机构，所述空料盒传入与满料盒排出机构由两组并排设置在设备一侧的空料盒传入段和满料盒排出段组成，空料盒传入段设置满料盒排出段上方，空料盒传入与满料盒排出机构与料盒升降机构连接，料盒升降机构至平移升降机构之间设置有缓冲料盒和出片翻转机构，平移升降机构设置在取片托板侧面，龙门式取片机构架设在取片托板上方，取片托板设置在载板升降机构上。本实用新型可以实现自动取片、插片快速准确，在提升下料速度的同时，保证下料质量，实现板式PECVD下料的自动化、高效率。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 福建;35 |
| 申请人： | 福建钜能电力有限公司 |
| 发明人： | 陈剑雨;王树林;倪鹏玉;陈清彬;姚晓宇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-08-07T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-06-25T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201821286325.0 |
| 公开号： | CN209023749U |
| 分类号： | B65G47/90(2006.01);B;B65;B65G;B65G47 |
| 申请人地址： | 351111 福建省莆田市涵江区国欢东路655号 |
| 主权项： | 1.一种板式PECVD的自动下料设备，其特征在于：包括空料盒传入与满料盒排出机构(1)、料盒升降机构(2)、缓冲料盒(4)、出片翻转机构(6)、平移升降机构(7)、龙门式取片机构(8)、取片托板(9)和载板升降机构(10)，所述空料盒传入与满料盒排出机构(1)由两组并排设置在设备一侧的空料盒传入段(11)和满料盒排出段(12)组成，所述空料盒传入段(11)设置满料盒排出段(12)上方，所述空料盒传入与满料盒排出机构(1)与料盒升降机构(2)连接，所述料盒升降机构(2)至平移升降机构(7)之间设置有缓冲料盒(4)和出片翻转机构(6)，所述平移升降机构(7)设置在取片托板(9)侧面，所述龙门式取片机构(8)架设在取片托板(9)上方，所述取片托板(9)设置在载板升降机构(10)上。 2.根据权利要求1所述一种板式PECVD的自动下料设备，其特征在于：所述料盒升降机构(2)和缓冲料盒(4)之间设有电缸夹紧机构(3)。 3.根据权利要求1所述一种板式PECVD的自动下料设备，其特征在于：所述出片翻转机构(6)连接平移升降机构(7)，所述出片翻转机构(6)和料缓冲料盒(4)之间设有气缸夹紧机构(5)。 4.根据权利要求1所述一种板式PECVD的自动下料设备，其特征在于：所述龙门式取片机构(8)采用升降吸盘取片方式。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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