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原文传递带有叠置适配器板的晶片搬运器

专利名称：	带有叠置适配器板的晶片搬运器
摘要：	一种前部开口的晶片容器(30)具有带透明壳体的容器部分(32)和关闭开口的前部的门(34)。容器部分(32)在壳体底部上具有机械接口，如运动偶接器(56)，以及在壳体顶部处的插口(73)，以容纳附件，尤其是机器人提升凸缘或适配器板(50)。适配器板(50)理想地具有相配合的机械接口部分，以允许晶片搬运器叠置。在优选实施例中，插口(73)具有滑动支承部(72、74)，该滑动支承部带有根切部分(75)，用于保持机器人提升凸缘或适配器板(50)。附件理想地具有定位在附件上的棘爪，以可释放地将所述附件闭锁到容器部
专利类型：	发明专利
申请人：	恩特格里斯公司
发明人：	菲尔·格林
专利状态：	有效
申请日期：	2001-12-04T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN01819931.3
公开号：	CN1478293
代理机构：	北京市柳沈律师事务所
代理人：	李晓舒;魏晓刚
分类号：	H01L21/00
申请人地址：	美国明尼苏达州
所属类别：	发明专利